Läbivkiirguse elektronmikroskoobis fokuseeritakse elektronkiir väikesele täpile (tüüpiline täpi läbimõõt 0,05 nm kuni 0,2 nm), mis seejärel skaneeritakse üle proovi rastervalgustussüsteemis, mis on konstrueeritud nii, et proov valgustatakse igas punktis optilise teljega paralleelse kiirega, mis muudab läbivkiirguse elektronmikroskoobi sobivaks analüütiliste meetodite jaoks, nagu Z-kontrastne rõngakujuline tumeda välja pildistamine ja spektroskoopiline kaardistamine energia dispersiivse röntgenspektroskoopia või elektronide energiakao spektroskoopia abil.
In scanning transmission electron microscope the electron beam is focused to a fine spot (with the typical spot size 0,05 nm – 0,2 nm) which is then scanned over the sample in a raster illumination system constructed so that the sample is illuminated at each point with the beam parallel to the optical axis. The rastering of the beam across the sample makes scanning transmission electron microscope suitable for analytical techniques such as Z-contrast annular dark-field imaging, and spectroscopic mapping by energy dispersive X-ray spectroscopy, or electron energy loss spectroscopy.
