Kui soovid oma küsimusele vastust, jäta meile oma e-posti aadress.
Aitäh, oleme tagasiside kätte saanud.
keemiline aursadestuspindamine väga madalal rõhul, taval. madalamal kui 10-6 Pa (ca 10-8 mmHg) (vt keemiline aursadestus), chemical vapor deposition at very low pressure (lower 10-6 Pa) (see: chemical vapor deposition)
ultrahigh vacuum CVD . Materjalitehnika terminibaas. Eesti Keele Instituut, Sõnaveeb 2026. https://sonaveeb.ee/search/unif//mtr/ultrahigh%20vacuum%20CVD/1/eng (08.08.2026)