Если вы хотите получить ответ по электронной почте, пожалуйста, оставьте свой адрес.
Спасибо, мы получили ваш отзыв.
keemiline aursadestuspindamine väga madalal rõhul, taval. madalamal kui 10-6 Pa (ca 10-8 mmHg) (vt keemiline aursadestus), chemical vapor deposition at very low pressure (lower 10-6 Pa) (see: chemical vapor deposition)
ülikõrgvaakum-CVD . Materjalitehnika terminibaas. Институт эстонского языка, Сынавееб 2026. https://sonaveeb.ee/search/unif//mtr/%C3%BClik%C3%B5rgvaakum-CVD/1/est (03.08.2026)