mikrolaineplasmaaktiveeritud keemiline aursadestus, mikrolaineplasmatoetatud keemiline aursadestus, mikrolaineplasmatoel keemiline aursadestus, mikrolaineplasmaaktiveeritud CVD, mikrolaineplasmatoetatud CVD
keemiline aursadestuspindamine, mis kasutab mikrolainete poolt indutseeritud plasmat reaktsioonikiiruse suurendamiseks (vt keemiline aursadestus), microwave chemical vapor deposition (CVD) assisted by radio frequency plasma (see: chemical vapor deposition), химическое осаждение из паровой фазы (ХПО) при помощи высокочастотной плазмы (см. химическое осаждение из паровой фазы)
