Punktoptiliste tajurite ja varb-/nõelotsakute kasutamise korral on mõõteala tavaliselt külgmis(t)e liikumisulatus(t)ega skannimisala ja topograafiamikroskoopide puhul võib mõõteala olla üks vaateväli, mis on määratletud objektiivi haardega, või suurem ala, mis on realiseeritud pisteliselt, või ainult osa vaateväljast, nagu mõõtja on määranud.
For point optical sensors and stylus methods, the measurement area is typically the scan area of the lateral translation stage(s), and for topography microscopes the measurement area can be single field of view as determined by the objective or a larger area realized by stitching or only part of a field of view as specified by the operator.