any sputtering method whereby multicomponent coatings, such as intersitial compounds, can be produced by sputtering into a reactive atmosphere, e.g transition metals can be sputtered into nitrogen or carbon enriched atmospheres to produce respectively, transition metal nitrides or carbides (see magnetron sputtering), atomisatsioonpindamismeetod, mille korral mitmekomponentsed pinded saadakse üleminekugrupi metallide atomisatsiooniga reaktiivgaasi (nagu lämmastik ja süsinik) keskkonnas; selle tulemusena saadakse vastavate üleminekugrupi metallide nitriidid või karbiidid (vt magnetronatomisatsioon)