ioonpommitusaurustusprotsess/-operatsioon, mille korral alusmaterjalile kantav pindematerjal on aurustatud (atomaarsena), kasutades kõrgsagedusenergiaseadet (vt aatompommitus), process in which coating material is applied to the substrate on an atomic scale evaporated, using high-frequency energy supply (see: sputtering), процесс (операция) ионного распыления, при котором частота подаваемого на мишень переменного тока близка к частоте, используемой в радиотехнике (см. распыление)