осаждение методом электронно-лучевого испарения, электронно-лучевой метод осаждения паров
füüsikaline aursadestuspindamisprotsess/-operatsioon, mille korral anoodiks oleva pindematerjali aurustamine toimub vaakumis fokuseeritud elektronkiirte kimbuga pommitamise teel (vt füüsikaline aursadestus), form of physical vapor deposition which target anode is bombarded with the electron beam given off a charged tungsten filament under high vacuum (see: physical vapor deposition), разновидность физического осаждения из паровой фазы, где анодная мишень бомбардируется пучком электронов, излучаемым находящейся под напряжением вольфрамовой проволокой в высоком вакууме (см. физическое осаждение из паровой фазы)