surface topography measurement method whereby an optical microscope with illumination of a known effective wavelength is integrated with an interferometric attachment and produces multiple successive optical images with interferometric fringes from which the profile or areal surface topography image is calculated, pinnatopograafia mõõtemeetod, mille puhul teadaoleva efektiivse lainepikkusega optiline valgusmikroskoop integreeritakse interferentsseadmega, mis annab mitu järjestikust interferentsribadega optilist kujutist, mille põhjal arvutatakse mõõdetud pinna profiili või pinnatopograafia kujutis