PSI
method for measuring areal surface topography from the surface height dependence of an interferometric signal, whereby the interference phase is estimated from two or more digitized interference images acquired over a sequence of controlled phase shifts, pinnatopograafia mõõtemeetod interferentssignaali ja pinnakõrguse sõltuvuse põhjal, kusjuures interferentsfaasi hinnatakse kahe või enama digiteeritud interferentspildi põhjal, mis on saadud kontrollitud faasinihete jadast