surface area-integrating method whereby a capacitance plate rests on a conducting surface with insulating material between them and the resulting capacitance between the two elements is used to calculate a roughness-dependent parameter, mõõteobjekti pinna mõõtemeetod, mille puhul mahtuvusplaat toetub mõõteobjekti voolu juhtivale pinnale, mille vahel on isolatsioonimaterjal, ja mõõtmise käigus tulenev mahtuvus kahe elemendi vahel on kasutusel pinnakaredusest sõltuva parameetri arvutamiseks
