requirements for instrument that shall perform areal surface topography measurements of a sample surface using focus variation, and shall comprise a focus variation sensor, optics, focus variation illumination system, and an axial scanner, nõuded mõõtevahendile, mis teostab proovipinna pindala topograafilist mõõtmist fookusvariatsiooni abil ning mis koosneb muutfookustajurist, optikast, muutfookus valgustussüsteemist ja telgskannerist