Alates 20. sajandi keskpaigast on elektronkiir ja selle tehnoloogia loonud aluse mitmesugustele uudsetele ja spetsiaalsetele rakendustele pooljuhtide tootmises, mikroelektromehaanilistes süsteemides, nanoelektromehaanilistes süsteemides, mikroskoopias ja metroloogias.
