koherentsustskanniv interferentsmeetod, koherentsusskaneeriv interferentsmeetod, CSI
surface topography measurement method wherein the location of interference fringes during a scan of optical path length provides a means to detrermine a surface topography map, pinnatopograafia mõõtemeetod, kus interferentsribade asetus optilise tee pikkuse skannimise ajal annab võimaluse pinna topograafiakujutise määratlemiseks, any of a class of optical surface measurement methods wherein the localization of interference fringes during a scan of optical path length provides a means to determine surface characteristics such as topography, transparent film structure, and optical properties, üks optiliste pindade mõõtemeetoditest, mille puhul interferentsiribade lokaliseerimine optilise teepikkuse skaneerimise käigus võimaldab mõõta pinna omadusi iseloomustavaid suurusi, nagu topograafia, läbipaistvate kilede struktuur ja optilised karakteristikud