surface topography measurement method whereby local gradients of a surface are determined by angular distribution of reflection or secondary electron emission intensity and an areal-topography image is obtained by integration of these local gradients, pinnatopograafia mõõtemeetod, mille puhul pinna lokaalsed konarused hinnatakse peegelduse nurkjaotuse või sekundaarse elektronkiirguse intensiivsuse abil ja pinnatopograafia kujutis saadakse nende kohalike pinnakonaruste integreerimise teel