atomic layer epitaxy
õhukese kile saamise, mille korral esineb kindel metallograaafiline orientatsioon kile ja alusmaterjali vahel (vt aatomkihtsadestus), a thin-film deposition technique , where a definite crystallographic orientation relationship exists between the film and substrate (see: atomic layer deposition), метод осаждения тонких плёнок, основывающийся на поочерёдном применении газофазных химических процессов (см. атомный слой, химическое осаждение из паровой фазы)