device for performing surface height measurements of an object using coherence scanning interferometry with spectrally-broadband, "white light" illumination, mõõteseade objekti pinna kõrguse mõõtmiseks, kasutades spektraal-lairibaühendusega koherentsuse skaneerimise interferomeetriat ehk nn „valge valguse“ valgustust
WLS 2 . Metroloogia terminibaas. Институт эстонского языка, Сынавееб 2026. https://sonaveeb.ee/search/unif//mea/WLS/2/eng (06.11.2026)