Saksamaal alguse saanud liikumise käivitas rahulolematus luterliku ortodoksiaga, mis rahuldus õpetusliku reformiga, pööramata piisavalt tähelepanu kristlikule eluviisile. Varase pietismi juhtfiguuriks oli Philipp Jacob Spener (1635–1705), kelle traktaadist „Pia desideria“ („Vagad soovid“) sai luterliku pietismi programmiline tekst, mis kutsus üles pöörama rohkem tähelepanu ilmikute kaasamisele kiriku tegevusse, kogunema ühistele palvustele, süvendama piiblitundmist ning igati viljelema pühendunud kristlikku eluviisi. Pietismi arengut individuaalse usukogemuse tähtsustamise suunas mõjutas August Hermann Francke (1663–1727), kes pidas inimese pühitsuselu alguspunktiks pöördumiselamust. Francke õpilane oli krahv Ludwig von Zinzendorf (1700–1760), Herrnhuti vennastekoguduse rajaja ja vaimne juht.