Mikrokõvadusmõõturi püramiidne teemantotsak surutakse teadaoleva (sageli alla 10 N) koormusega katsematerjali poleeritud pinnale kindlaksmääratud ooteajaks ja saadud püramidaalne süvend, mille laiendatud geomeetria pikkuse ja laiuse suhtega 7:1 ja kaldenurkadega on pika serva puhul 1720 ja lühikese serva puhul 1300, on mõõdetav mikroskoobi abil.
