keemiline töötlus valikulist söövitust tagava kaitsekihi pealekandmisega fotograafilisel meetodil; keemilise freesimise versioon (vt keemiline töötlus; vrd keemiline freesimine), the process of using photolithography to create a pattern on metal which is then etched to form thin, intricate metal parts; a variation of chemical milling (see: chemical machining; compare: chemical