aatomite juhuslik liikumine kõrgema kontsentratsiooniga alast madalamasse, mis toimub materjali pinnal (vrd mahtdifusioon, teradevaheline difusioon), as a random migration of atoms from regions of higher concentration to lower concentration at surface (compare: volume diffusion; grain boundary diffusion), хаотичное перемещение атомов из областей с более высокой концентрацией к более низкой концентрации на поверхности (ср. объёмная диффузия, диффузия по границам зёрен)