plasmaioonsadestus
an ion implatation technigue in which ion beams are used to create coatings having special phases, especially ion beam formed carbon coatings in diamond phase or ion beam formed boron nitride coatings (see: ion implantation; compare: ion beam assisted deposition, ion beam mixing, ion beam sputtering), ioonimplantatsioon, mille korral plasmaioonide voogu kasutatakse spetsiaalsete teemandilaadsete süsinikpinnete või boornitiidpinnete saamiseks (vt ioonimplantatsioon; vrd ioonkiirtoel sadestus, ioonkiirsegamine, ioonkiiratomisatsioon)