the process of modifying the physical or chemical properties of the near surface of a solid (target) by embbeding appropriate atoms into it from a beam of ionized particles (see: ion beam sputtering, plasma ion implantation, ion beam assisted deposition, ion beam mixing; compare: laser surface processing), tahkise pinnakihi füüsikaliste või keemiliste omaduste modifitseerimine sellesse ioniseeritud osakeste voost põhjustatud vastavate aatomite sisestamise teel (vt ioonkiiratomisatsioon, ioonlegeerimine, ioonplasmasadestus, ioonkiirtoel sadestus; vrd pinna lasermodifitseerimine)