the process of modifying the physical or chemical properties of the near surface of a solid (target) by embbeding appropriate atoms into it from a beam of ionized particles (see: ion beam sputtering, plasma ion implantation, ion beam assisted deposition, ion beam mixing), tahkise pinnakihi füüsikaliste või keemiliste omaduste modifitseerimine sellesse ioniseeritud osakeste voost põhjustatud vastavate aatomite sisestamise teel (vt ioonkiiratomisatsioon, ioonlegeerimine, ioonplasmasadestus, ioonkiirtoel sadestus)