alusmaterjali pinna läheduses elektrivälja toimel moodustunud gaasilisest plasmast pindematerjali ioonide viimine pinnakihti erifaasidest koosneva pinde saamiseks (vt ioonimplantatsioon), technique in which ion beams are used to create coatings having special phases; eg ion beam formed carbon coatings (see: ion implantation), внедрение ионов материала покрытия в приповерхностный слой из газообразной плазмы, которая образуется под воздействием электрического поля вблизи поверхности подложки, чтобы получить покрытие из разных фаз