Ruumiparameetreid kasutatakse pinna metroloogias pinnaelementide asukoha, kuju või ulatuse mõõtmiseks, andmete visualiseerimiseks ja pinna morfoloogiliste omaduste analüüsimiseks ning need on autokorrelatsioonipikkus (Sal), tekstuuri kuvasuhe (Str), tekstuuri suund (Std) ja valitsev ruumilainepikkus (Ssw).
Spatial parameters are used in surface metrology to measure the position, shape, or extent of objects, used in data visualization and to analyze morphological characteristics of a surface, and its are autocorrelation length (Sal), texture aspect ratio (Str), texture direction (Std) and dominant spatail wavelength (Ssw) .