punktautofookusprofileerimine, punkt-autofookuseline profileerimine
surface topography measurement method whereby the local surface height is measured by automatically centring a focused light beam reflected from the sample on a position sensitive detector as a function of surface height, pinnatopograafia mõõtemeetod, mille puhul mõõdetakse kohaliku pinnapunkti kõrgust, tsentreerides mõõteobjekti pinnalt peegelduva fokuseeritud valgusvihu automaatselt asenditundlikule tajurile pinna kõrguse funktsioonina