võtab arvesse ebatäpsusi patsiendi positsioneerimisel raviväljade suhtes; viga võib olla kas süstemaatiline või juhuslik; süstemaatiliste vigade allikad: kiirendi geomeetria ebatäpsused, planeerimissüsteemi vead, pildihõive geomeetria, juhuslikud muutused patsiendi skaneerimisel, kontureerimisvead ja süstemaatilised vead patsiendi posistioneerimisel; süstemaatiliste vigade efekt on ligikaudu 3 korda suurema tähtsusega kui juhuslike vigade mõju, mistõttu tuleb neid igal juhul ennetada ja vältida personali koolituste ja kontrollide abil
