Mahtuvusniiskusmõõtur koosneb hügroskoopsest (vett imavast) dielektrilisest materjalist, nt tavaliselt õhukesest polümeerkilest või metalloksiidist, mis on asetatud kahe juhtiva elektroodi vahele.
A capacitance hygrometer consists of a hygroscopic (water-absorbing) dielectric material - typically a thin polymer film or metal oxide - sandwiched between two conductive electrodes.