noise due to non-uniform intensity of reflected light generated by irregular micro-scale geometry of the workpiece surface within the spot size, müra, mis on tingitud peegeldunud valguse ebaühtlasest intensiivsusest, mis tekib mõõteobjekti pinna ebakorrapärasest mikrogeomeetriast punktimõõtme piires
noise due to non-uniform intensity of reflected light generated by irregular micro-scale geometry of the workpiece surface within the spot size, müra, mis on tingitud peegeldunud valguse ebaühtlasest intensiivsusest, mis tekib mõõteobjekti pinna ebakorrapärasest mikrogeomeetriast punktimõõtme piires
NSPC . Metroloogia terminibaas. Estonian Language Institute, Sõnaveeb 2026. https://sonaveeb.ee/search/unif//mea/NSPC/1/est (01.07.2026)
