Väljaemissioonimikroskoopia mõõteprintsiip, mille leiutas Erwin Wilhelm Müller 1936. a ja selle realiseerimiseks kasutatud mõõtevahend oli üks esimesi pinnaanalüüsi mõõtevahendeid, mis suutis läheneda aatomilähedasele eraldusvõimele, mis kaasaalal on leidnud rakenduse objektide topograafia uurimiseks kasutatavates väljaemissiooni skaneerivates elektronmikroskoopides.